固定光学系は、レンズ構成がシンプルで、駆動部がないことから加工ターゲットポイント一点にレーザ光を集光させる点においては最も優れた光学系と言えます。加工位置精度はX-Yステージの分解能で決まり、精度の高い加工が要求される場合に適しています。ファイバーレーザのように加工点付近までファイバーでレーザ光を伝送することができる場合は加工ヘッド（固定光学系のユニット化）を用いることができるため、光学系の取り扱いが非常に容易になります。

ただし、X-Yステージの駆動部が重いため、ステージ移動の際に加減速領域が生じ、直線以外の形状加工においては高速での加工が困難となります。また、ワーク面積の4倍程度の接地面積が必要なため、加工システムが大型化しやすくなります。

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