小型汎用レーザ加工システム

ー 高精度加工タイプ LA1Tシリーズ ​ー

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【LA1Tシリーズ】

LA1Tシリーズは、加工位置精度や形状誤差の高精度化を重視した加工システムです。

​オプションで、加工ステージをアップグレードすることで加工精度を標準仕様の10倍まで向上させることができます。

【システム構成】

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レーザ発振器:ナノ秒パルスレーザ

光学系:固定光学系 or

        ビームローテータ光学系

オプション:高精度ステージ

【概略仕様】

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1μm

1μm

アップグレード

【対応する加工例】

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UVナノ秒パルスレーザ使用

​窒化珪素基板の多穴加工

厚み125μmの窒化珪素基板に対し、Φ50μmの穴を1.5秒/穴で加工

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LA1Tシリーズ

対応加工システム

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UVナノ秒パルスレーザ使用

四角穴の高速・高精度加工

加工寸法精度および加工位置精度をそれぞれ±2μm以下で加工

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LA1Tシリーズ

対応加工システム

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