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ビームローテータ光学系
ここでは、ビームローテータ光学系についてご説明いたします
【ビームローテータ光学系の特徴】
ビームローテータ光学系は、レーザ光を回転させながらターゲットへの入射角を制御する回転光学系です。穴あけ加工における逆テーパーやテーパーレス加工が可能です。また、ビームを回転させることで、より大きな加工径で加工を行うことも可能となります。 さらに、ビームを回転させながらステージなどで加工位置を送ればウォブリング加工やウェービング加工を行うことができます。
例1)集光レンズ前でレーザ光を光軸中心に一定半径で回転させ、集光点でビームに傾きを与える。
加工に対する効果
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テーパーレス(垂直壁面)加工が可能
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任意角度の加工が可能
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集光径よりも大きな径の加工が可能
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加工径の真円度の向上
ビームローテータによる光路制御
ビームローテータにより得られる加工形状(断面イメージ図)
例2)集光レンズ前でレーザ光に傾きを与えて光軸中心に回転させ、集光点でレーザ光を一定半径で回転
させる。
加工に対する効果
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加工形状(真円度)の改善
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一定半径の真円穴の高速穴あけ
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パワー(エネルギー)密度を変えずにより大きな加工径が得られる
ビームローテータによる光路制御
ビームローテータにより得られる加工形状(真円度穴加工 上面写真)
【ビームローテータ光学系の構成】
ビームローテータは以下の要素から構成されます。
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機能A用光学素(回転半径設定機構)
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機能B用光学素子(回転半径設定機構)
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モータ及びコントローラ
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集光レンズ
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噴射ノズル
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保護ガラス(防塵用窓)
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ハウジング
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