ガルバノスキャナ光学系

ここでは、小型汎用レーザ加工システムの機能拡張オプションについてご説明いたします

【ガルバノスキャナ光学系】

レーザ光の高速スキャニングシステム

ガルバノスキャナ光学系は、レーザ光を高速に走査し、加工フィールド（スキャニングエリア）内を高速に加工する光学系です。主に、多穴加工、スクライビング、テクスチャリング、クリーニング、マーキングや切断加工などの高速加工に向いています。

加工フィールド（スキャニングエリア）は、f-Θレンズの仕様で決まり、基本的に焦点距離が長いほど加工フィールドサイズは大きくなります。ただし、加工スポット径も比例して大きくなるため、加工目的に応じた選択が必要になります。

基本的には、小型軽量のサーボモータと同じ構造をしており、モータ駆動によって小型・軽量ミラーを高速に回転させます。

これによりレーザ光の角度を高速に走査することができます。また、回転軸に精密な角度エンコーダが取り付けられており、特定の角度で位置決めをする構造となっています。

スキャナミラーを2枚使用することで、2次元方向の走査を自由に行うことができるようになります。

ガルバノスキャナミラーの回転により角度が設定されたレーザ光をｆθレンズでターゲット上に集光し加工します。ｆθレンズは、レンズの有効面積内であれば入射してくるレーザ光の角度に依存することなく、加工面上に焦点を合わせる（入射角度に応じて焦点距離を調整する）機能をもったレンズになります。

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