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ー産業用レーザ加工システム導入サポートー
レーザ・エージェンシー株式会社
ローテータ加工レーザシステム
ここでは、ビームローテータ光学系を使用した加工システムをご紹介いたします
【ビームローテータ光学系の役割】
ビームローテータ光学系は、レーザ光をターゲット面に対し、加工点を中心に回転させ、かつ入射角を可変させることでテーパー角を制御することができます。これにより逆テーパー角やテーパーレスの穴あけ加工を行うことができます。さらに、垂直方向の制御を行うことでアスペクト比の高い加工を行うことができます。
【ローテータ加工システムの特徴】
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ビームローテータの機能を最大限に活かした装置設計
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微細加工に見合った高精度ステージを搭載。
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ローテータを搭載する強固なZ軸ステージ構造と焦点合わせ機構。
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4軸自由度を有する垂直落射光学系。
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ビーム径調整機能を搭載。
【ローテータ加工システムイメージ図】
【ローテータ加工システムの加工性能（実例）】
【ローテータ加工システムの加工例】
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